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티씨케이, 'SiC 포커스링' 관련 특허 무효 소송 및 심판서 승리 - 특허침해 기업에 단호한 법적조치 진행 예고
  • 기사등록 2022-10-14 16:57:39
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[더밸류뉴스=이지윤 기자]

국내 대표적 반도체소재부품 기업 티씨케이(대표 신히데오 김영희)가 디에스테크노와 벌여온 특허 무효 소송 및 심판에서 연이어 승소했다고 14일 밝혔다. 티씨케이는 반도체소재부품을 생산하고 있는 코스닥 등록업체로 반도체 에칭 공정에 사용되는 CVD SiC(탄화규소) 포커스링을 주력제품으로 제조·판매하고 있다.


기존에는 CVD SiC 반도체소재부품을 제조할 시, CVD 챔버의 온도나 압력과 같은 전통적인 증착 조건만을 고려해왔으나 티씨케이는 CVD 챔버에서 SiC 원료가스를 분사하는 여러 개의 노즐들을 순차적으로 사용하는 방식을 세계 최초로 도입, CVD SiC 포커스링의 내플라즈마성을 향상시키면서 효율적인 공정을 구현할 수 있게 됐다.


[이미지=티씨케이]

지난 13 일 특허법원은 디에스테크노가 제기한 심결취소의 소(2021 허 3420)에서 티씨케이의 SiC 포커스링 특허(제 10-1914289 호) 중 제법 발명의 특허성을 인정하는 판결을 내렸다. 앞서 지난 12 일에는 특허심판원이 디에스테크노가 제기한 무효심판(2021 당 3401)에서 티씨케이의 또 다른 SiC 포커스링 특허(제 10-2208252 호)의 특허성을 인정했고, 이로써 티씨케이는 주요 특허들에 대한 특허 무효 공격을 성공적으로 방어하게 됐다.


티씨케이는 “이번 승소를 바탕으로 그동안의 피해를 구제받고, 타회사들의 특허 침해와 관련해 법적 조치를 통해 대응할 수 있는 토대를 마련하게 됐다”며 “앞으로도 자사는 기술 개발은 물론, 특허 침해 등으로 제품을 제조 및 판매하는 회사들에 대한 법적 조치를 취해 나갈 것”이라고 밝혔다.


jiyoun6024@thevaluenews.co.kr

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