[더밸류뉴스=이경서 기자]

일본 정부가 최근 SK하이닉스가 수입 신청을 낸 불화수소 수출을 허가한 것으로 확인됐다. 규제 이후 승인이 나지 않고 있는 액체 불화수소(불산액)의 경우 국산품으로 대체해 일부 생산라인에 투입하기 시작했다.

 

SK하이닉스가 개발한 2세대 10나노급(1y) DDR5 D램. [사진=SK하이닉스]

SK하이닉스는 2일 일본 정부가 지난달 말 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다고 밝혔다. 

 

불화수소는 반도체 공정에서 회로에 패턴을 형성하는 식각(Etching)공정에 주로 사용되는 소재다. 기체 불화수소는 지난 8월 말 처음 수출 허가가 났고, 당시 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다. 일본이 지난 7월 초 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 3개월 만에 두 차례 수출허가가 난 셈이다.

 

일본 정부는 반도체·디스플레이 제조공정에 사용하는 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트(감광액), 고순도 불화수소 등 3개 품목에 대해 수출을 규제하고 있다. 앞서 플루오린 폴리이미드 1건, 포토레지스트 3건, 불화수소 1건에 대해서만 수출이 허가됐다.

 

일본 정부는 액체 불화수소에 대해서는 아직 수출을 허가하지 않고 있다. 액체 불화수소는 반도체 생산에 있어 기체 불화수소보다 많은 양이 투입된다. 산업통상자원부는 전날 반도체용 액체 불화수소가 수입 신청 후 90일이 다 되도록 일본 정부로부터 단 한 건의 허가도 발급받지 못한 상황이라고 전했다.

 

이에 SK하이닉스는 지난 1일 일부 생산라인에 테스트를 완료한 국산 액체 불화수소를 투입해 사용하기 시작했다고 밝혔다. 지난달 초 LG디스플레이, 삼성전자 등이 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 데 이은 국산화 행보다.

lks@thevaluenews.co.kr

[저작권 ⓒ 더밸류뉴스. 무단 전재 및 재배포 금지]