[더밸류뉴스=이승윤 기자]

세종대(총장 배덕효) 나노신소재공학과가 학생들을 대상으로 반도체 소재(MIM capacitor)에 관한 최신 연구를 소개하며 DRAM 반도체 소재에 대한 전공 역량을 강화한다.

세종대 나노신소재공학과는 지난달 21일 세종대 광개토관에서 전문가 특강을 진행했다고 6일 밝혔다. 이날 특강은 이웅규 숭실대 교수가 ‘MIM 커패시터 앤 인터페이스 프로퍼티시즈(Capacitors and Interface Properties)’라는 주제로 진행했다.

 이웅규 숭실대 교수가 지난달 21일 세종대 광개토관에서 진행된 세종대 나노신소재공학과 전문가 특강에서 강연을 하고 있다. [사진=세종대]

이웅규 교수는 원자 크기 단위의 두께로 증착시키는 방식인 ALD(Atomic Layer Deposition)의 단점을 보완하는 연구를 진행하고 있다. 또 커패시터(capacitor)의 커패시턴스(capacitance) 특성과 연관된 TiO2 혹은 SrTiO3(STO)의 결정화에 대한 연구 및 다양한 방식과 온도로 결정화도를 높이려는 시도를 하고 있다. 

이번 특강은 △인트로덕션(Introduction) △아토믹 레이어 데포지션(Atomic Layer Deposition) △하이 케이 디엘렉트릭스 포 디알메이엠 커패시터(High-k Dielectrics for DRAM Capacitors)(ZrO2/TiO2/SrTiO3) △서머리(Summary) 순으로 진행됐다. 

특강에 참여한 세종대 나노신소재공학과 김연규 학생은 “ALD 방식이 흥미로웠다. 단순히 물리적 증착이 아닌, 화학적 방식을 통해 원자 크기의 두께로 증착되기 때문에 다양한 분야에서 쓰일 수도 있겠다는 생각이 들었다. 현재는 반도체 분야에서 많이 쓰이고 있지만, 세밀하고 정확한 기술을 필요로 하는 바이올로지(biology) 분야에서도 유용하게 쓰일 수 있을 것 같다”고 말했다.

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