[더밸류뉴스=황기수 기자]

SK하이닉스(대표이사 곽노정)가 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나선 지 1년여 만의 성과를 보였다.

SK하이닉스는 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 네온은 희귀 가스 중 하나로, 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다.

SK하이닉스가 최근 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다. 이미지는 네온 가스 재활용 과정. [이미지=SK하이닉스]

앞서 SK하이닉스는 지난 2월 ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵’을 통해 오는 2030년까지 재활용 소재 비율을 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다. SK하이닉스는 이번에 개발한 네온 재활용 기술이 로드맵을 실현해 가는 의미 있는 성과가 될 것으로 기대한다고 밝혔다.

네온은 불순물 제거 등의 분리 및 정제만 거치면 재활용이 가능하다는 특징이 있다. 양사는 노광공정 이후에 스크러버(집진장치)를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 현재 네온 회수율은 72.7%에 이르며, SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 네온 회수율을 77%까지 높일 계획이다.

SK하이닉스는 네온 재활용 기술이 반도체 팹에 적용될 경우 연간 400억원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다고 밝혔다. 아울러 이 기술은 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량(Scope3)을 연간 1만2000t(톤) 가량 줄이는 효과도 창출할 것으로 보인다.

SK하이닉스는 "소재 및 장비 협력사가 각 분야의 전문 지식을 바탕으로 긴밀하게 협력해 만들어진 성과"라며 "앞으로도 전문성을 갖춘 협력사들과의 파트너십을 더욱 발전시켜 나가겠다"고 밝혔다.

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