일본이 수출규제 조치 이후 처음으로 고순도 불화수소 수출을 허가한 것으로 알려졌다.
지난 29일 산업통상자원부 관계자는 이날 “일본 경제산업성이 불화수소 수출 1건을 허가했다고 업계 등을 통해 오늘 확인했다”고 말했다.
고순도 불화수소는 에칭가스로도 불리며 주로 반도체 회로를 새기는 식각 공정에 사용된다. 또 제조공정에서 불순물 제거를 위한 세정 작업에도 사용되어 반도체 완성품의 품질과 직결된다. 일본의 수출 규제가 시작되고 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들이 감광액과 함께 확보에 주력했던 소재이기도 하다.
이번 수출허가로 수출규제 이후 총 3건의 수출이 이뤄졌다. 지난 7월 7일 일본 신에쓰화학의 극자외선(EUV)용 포토레지스트 수출물량에 이어 19일에는 JSR 물량이 허가됐다. 모두 삼성전자가 수입하는 반도체 소재이다.
이번 일본의 불화수소 수출 허가는 수출 규제가 정치적 보복 조치가 아니라 WTO(세계무역기구) 규칙에도 어긋나지 않는다는 점을 강조하기 위한 것으로 풀이된다. 또, 국내 반도체 업계가 대체재를 찾아 나서자 매출이 줄어들까 위협을 느낀 일본 업체들이 허가를 촉구했기 때문이라는 분석도 나온다. 그간 일본 정부는 고순도 불화수소가 군사적 목적으로 악용될 수 있다며 수출을 불허해왔다.
이에 우리 정부는 "한 건 허가가 났다고 일희일비하지 않는다"며 "수출규제 조치의 무조건 철회가 필요하다는 입장엔 변화가 없다"고 강조했다.