[더밸류뉴스=박정호 기자]

삼성전자가 반도체 공정에 사용해 온 일본의 고순도 불화수도(에칭가스) 일부를 국산품으로 대체하기 시작했다. 이는 7월 초 일본이 한국을 상대로 포토레지스트(감광액), 플루오린 폴리이미드와 함께 불화수소의 수출 규제를 강화한 이후 두 달여 만이다.

삼성전자의 평택 반도체 생산 공장. [사진=삼성전자]

불화수소는 반도체 기판으로 쓰이는 실리콘 웨이퍼에 있는 불필요한 회로를 깎아내는 식각 공정과 웨이퍼에 쌓인 불순물을 없애는 세정 작업에 사용된다. 약 700여 개 반도체 공정에서 불화수소를 사용하는 공정은 약 50개 이상인 것으로 알려져 있다.

3일 삼성전자 관계자는 “일부 라인에서 일본산 이외의 제품을 적용하기 시작했다”라며 “민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획”이라고 말했다. 이 관계자는 또 “꾸준히 불화수소 공급처를 다변화하기 위해 노력 중”이라고 덧붙였다. 반도체 업계에 따르면 삼성전자가 새로 투입한 불화수소 중에는 국내 업체 제품도 포함된 것으로 알려졌다.

대체품 조달과 공급은 국내 솔브레인과 이엔에프테크놀로지를 통해 이뤄지고 있다. 솔브레인과 이엔에프테크놀로지는 각각 일본 스텔라 및 모리타의 불화수소를 수입·정제한 후 식각액(에천트)과 같은 반도체 공정용 소재를 만들어서 삼성전자에 납품한 회사다. 일본 정부의 대 한국 수출 규제로 스텔라, 모리타 제품 수급에 차질을 빚을 가능성이 높아지자 고객사인 삼성전자와 협력, 대체재를 마련한 것으로 보인다.

앞서 1일 LG디스플레이도 국산 불화수소 안정화 테스트를 마치고 이달 중 일부 생산공정에 투입할 예정이라고 밝혔다.

SK하이닉스도 조만간 국산 불화수소를 투입할 수 있을 전망이다. SK하이닉스 관계자는 "아직 대체 불화수소를 투입한 것은 아니지만, 생산 차질이 발생하지 않도록 막바지 테스트를 하고 있다"고 말했다.

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